ОФ4МЕС - Микроелектромеханички системи

Спецификација предмета
Назив		Микроелектромеханички системи
Акроним		ОФ4МЕС
Студијски програм		Електротехника и рачунарство
Модул		модул Физичка електроника
Тип студија		основне академске студије
Наставник (предавач)		проф. др Владимир Арсоски проф. др Милан Тадић
Наставник/сарадник (вежбе)		проф. др Владимир Арсоски
Наставник/сарадник (ДОН)
Број ЕСПБ		6.0	Статус предмета	изборни
Условљност другим предметима		нема
Циљеви изучавања предмета		Увођење студената у основне концепте микро- и нанофабрикације, микро и наносистема. Упознавање с методама њиховог моделовања, симулације, израде, карактеризације и примене. Увод у савремене трендове везане за сензоре и актуаторе на микроскопском и субмикроскопском нивоу и упознавање с основним концептима микросистемских технологија и нанотехнологије.
Исходи учења (стечена знања)		Упознатост са главним МЕМС системима и технологијама за њихову израду. Способност њиховог коришћења у широком дијапазону практичних области, пре свега за индустријско/процесне намене, информатику и биомедицину. Упознатост са савременим трендовима у области и с текућом проблематиком.
Садржај предмета
Садржај теоријске наставе		Увод. MEMS, NEMS, MOEMS, MST. Материјали за израду MEMS-a. Технологије израде MEMS-a. Запреминско и површинско микромашинство. LIGA поступак. Контрола MEMS-a. Концепт електричног и механичког моделовања. Електростатички сензори и актуатори. Термички сензори и актуатори. Магнетски актуатори. Микрофлуидика. Оптички MEMS. Нумеричко моделовање MEMS направа.
Садржај практичне наставе		Практични рад у области моделовања и дизајна MEMS-а.
Литература
Z. Jakšić, Uvod u MEMS, Skripta, 2007. Chang Liu, Foundations of MEMS, Pearson Education, Inc., 2006. M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 2002, Mohamed Gad-el-Hak (Ed.), "MEMS: Introduction and Fundamentals", Taylor & Francis Group, LLC, 2006. Sergey Edward Lyshevski (Ed.), "Nano- and Micro-Electromechanical Systems: Fundamentals of Nano- and Microengineering", CRC Press, 2004.
Број часова активне наставе недељно током семестра/триместра/године
Предавања	Вежбе	ДОН	Студијски и истраживачки рад	Остали часови
3	2
Методе извођења наставе		предавања, аудиторне вежбе, демонстрације
Оцена знања (максимални број поена 100)
Предиспитне обавезе		Поена	Завршни испит	Поена
Активности у току предавања		0	Писмени испит	35
Практична настава		0	Усмени испит	0
Пројекти		30
Колоквијуми		35
Семинари		0